在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)
BSD-MASS 在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)(美國英福康 INFICON)
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer
四極桿質(zhì)譜:德國英??担↖NFICON)在線質(zhì)譜(原產(chǎn)地:美國,提供原產(chǎn)地證明和原廠校驗(yàn)證書);
質(zhì)譜檢測器:法拉第杯Faraday Cup (FC)和電子倍增器Electron Multiplier (EM);
質(zhì)量數(shù):默認(rèn)1-100amu;選配1-200amu或1-300amu;
燈絲:鍍銥燈絲,2套,一用一備,軟件切換;
采樣壓力:默認(rèn)100±10kpa,其它采樣壓力需定制;
氣體采樣流量:默認(rèn)5SCCM,低可0.2SCCM的超微采樣量;
響應(yīng)速度:可在低<5SCCM的微流量采樣量下,仍然保持超快速的響應(yīng),響應(yīng)時間<1秒;(脫離采樣量的響應(yīng)時間沒有價值)
分辨率:<0.5ppm(40amu);
掃描速度:高可達(dá)1.8毫秒/amu;
渦輪分子泵:愛德華,抽速85L/s,極限真空1*10E-12mbar;
干泵:渦旋干泵,抽速20L/S,極限真空1*10E-1mbar;
分流系統(tǒng):具有,高精度分流系統(tǒng)是快速靈敏響應(yīng)速度的保證。
質(zhì)譜腔體加熱烘烤:具有,烘烤溫度150℃;
其它功能:
零焊縫真空質(zhì)譜腔體技術(shù)(將傳統(tǒng)的4焊縫降低到0焊縫);
分子泵高真空大流導(dǎo)MAX接口技術(shù)(將流導(dǎo)面積增加3倍以上,流導(dǎo)長度縮短5倍以上),從而獲得極限靈敏度;
分子泵電流電壓監(jiān)測,質(zhì)譜腔體溫度監(jiān)測;
采樣管線防蒸汽凝結(jié)技術(shù);采樣口防堵技術(shù);
從左右:英??抵袊A北區(qū)經(jīng)理,貝士德儀器總工,英??得绹S傳感器部門經(jīng)理、質(zhì)譜部門經(jīng)理
技術(shù)交流
在線質(zhì)譜氣體分析系統(tǒng)